2QB420-SHH46高壓風機在半導體設備中有哪些用途2QB420-SHH46高壓風機是半導體設備的主要氣路與環(huán)境控制部件,主要作用是潔凈保障、工藝氣控、散熱與真空輔助、晶圓搬運,直接決定良率與設備穩(wěn)定性。一、潔凈度與顆??刂疲ㄖ饕猛荆┚A/腔體吹掃:在光刻、蝕刻、CVD/PVD等工位,用30–100kPa高壓氣流吹除硅渣、金屬屑、化學殘留,避免納米級顆粒污染晶圓。EUV光刻機清潔:吹掃光學鏡面污染物、抑制熱變形,保障納米級光刻精度。無塵室正壓維持:向設備腔體與局部潔凈區(qū)...